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光栅位移传感器

关键词:接近开关 光电开关 发布时间:2019-07-29 17:07:42 点击:

  数字位移传感器光栅、磁栅、感应同步器,它们的共同特点是物理特性的使用,由直线和圆弧结构位移传感器的输出信号是脉冲信号,每个脉冲当量位移表示输入,通过计算脉冲位移大小统计。下面主要是基于光栅传感器和传感器的数字传感器的原理先容。

  光栅位移传感器

  光栅是一种新型的位移检测元件,有两种圆光栅和线性光栅。它的特点是测量精度高(可达1um),快速响应、宽范围(一般为1米,连接可以实现利用10m),等。

  光栅由尺度光栅和指示光栅组成,相同的刻蚀密度,但相差很大,其结构如图1所示。

  光栅条纹的密度一般为25、50100250等。并行指令对光栅尺光栅上面,并使他们的网线相互倾斜一个小角度,然后在几个粗条纹的光栅莫尔条纹出现,称为。它们被布置在几乎垂直于光栅条纹的方向上。

光栅位移传感器

  光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,

\

  表示光栅条纹间的夹角,则有

\

  (1)

  若P=0.01mm,把莫尔条纹的宽度调成l0mm,则放大倍数相当于1000倍,即利用光的干涉现象把光栅间距放大1 000倍,因而大大减轻了电子线路的负担。

  光栅可分透射和反射光栅两种。透射光栅的线条刻制在透明的光学玻璃上,反射光栅的线条刻制在具有强反射能力的金属板上,一般用不锈钢。

  光栅测量系统的基本构成如图3所示。光栅移动时产生的莫尔条纹明暗信号可以用光电元件接受,图3中的a,b,c,d是四块光电池,产生的信号,相位彼此差900,对这些信号进行适当的处理后,即可变成光栅位移量的测量脉冲。

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